無塵車間的溫度試驗包括功能溫度試驗和一般溫度試驗。無塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。無塵車間目前級別最高的當(dāng)屬航天航空的航空倉，基本是屬于1級，屬于特殊領(lǐng)域，面積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產(chǎn)車間，物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。凈化工程指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。功能溫度測試主要用于無塵車間需要嚴格控制溫度精度或施工人員需要靜態(tài)或動態(tài)測試時，一般溫度測試主要用于空氣溫度測試。

在無塵車間的功能溫度測試中，應(yīng)將潔凈區(qū)域劃分為等面積網(wǎng)格，每個網(wǎng)格面積不得超過100平方米，或與施工方協(xié)商確定，每個網(wǎng)格測量點應(yīng)大于1，每個房間至少應(yīng)有2個測量點。試驗高度應(yīng)為工作面高度、頂棚距離、墻體及地面不小于300 mm，并應(yīng)考慮熱源的影響。測量時間應(yīng)至少為1H，6 min應(yīng)至少測量一次。讀數(shù)穩(wěn)定后，應(yīng)記錄下來。無塵車間一般溫度測試的測點，各溫度控制區(qū)或每個房間內(nèi)的一個測點，測點高度應(yīng)為工作面高度，測量時間至少為1H，測量6 min應(yīng)至少測量一次。讀數(shù)穩(wěn)定后，應(yīng)記錄下來。

無塵車間濕度測試：濕度測試可通風(fēng)干濕球濕度計，電容式濕度計，數(shù)字濕度計，發(fā)型濕度儀。