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無(wú)塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度，利用高機(jī)能的過(guò)濾器即可輕易達(dá)到零水平，實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)因?yàn)樽鳂I(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的整機(jī)資料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，因此造成了元件清潔面的粒子沾染。
無(wú)塵室內(nèi)該如何避免微粒子沾染呢？應(yīng)依照下列四項(xiàng)基本準(zhǔn)則：

　　一、不攜入在無(wú)塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：
1）作業(yè)員進(jìn)入無(wú)塵室前，機(jī)臺(tái)、整機(jī)攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理；
2）進(jìn)入無(wú)塵室者在更衣室要衣著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特別導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
3）通過(guò)風(fēng)淋室時(shí)利用高速清潔空氣除去附在衣服名義的粒子后，才干進(jìn)入無(wú)塵室。
4）機(jī)器及資料帶進(jìn)無(wú)塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀況下帶進(jìn)無(wú)塵室前室頤養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無(wú)塵室。
5）無(wú)塵室中須全程衣著密閉式保險(xiǎn)帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

　　二、不產(chǎn)生
在把持最大沾染源--人在無(wú)塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí)，也應(yīng)把持第二大沾染源—制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。凈化配件送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。因物品在挪動(dòng)時(shí)，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵，而物品在挪動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的產(chǎn)生。故為了把持發(fā)塵量達(dá)到最小限度應(yīng)采取以下對(duì)策：
1）減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作狀況；
2）采取磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；
3）采取發(fā)塵小的潤(rùn)滑油；
4）機(jī)臺(tái)利用空壓浮上的非接觸化工作原理。凈化配件送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

　　三、不貯備
若能徹底履行“不攜入”技巧，無(wú)塵室內(nèi)的清潔度就可能堅(jiān)持。但事實(shí)中人跟物品的頻繁出入及制造機(jī)臺(tái)的掣動(dòng)，在寬大的無(wú)塵室內(nèi)要有完全清潔度是不可能的。因此“不貯備”技巧疾速地在過(guò)濾器中利用以除去已產(chǎn)生的微粒子變得十分重要。通常已產(chǎn)生的微粒子會(huì)依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體名義。突發(fā)性的振動(dòng)及不牢固的氣流會(huì)使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起，增加了重大微粒子沾染的危險(xiǎn)性。
在最高等級(jí)的無(wú)塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下賤動(dòng)。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣跟完全過(guò)濾空氣完全交換所盤(pán)算出來(lái)的數(shù)值。同時(shí)，空氣的流向也必須要有正確的把持才行。特別要保障氣流的流暢途徑暢通無(wú)阻，因?yàn)樵诹鲿惩緩街杏蟹恋K物的話，輕易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得鄰近已產(chǎn)生的微粒子無(wú)奈疾速消除而長(zhǎng)時(shí)光漂流在無(wú)塵室內(nèi)，而一局部會(huì)附著在周邊機(jī)器設(shè)備的名義而引起沾染。
把持氣流可避免微粒子累積，但對(duì)帶電名義的微粒累積就無(wú)奈避免。
無(wú)塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度，利用高機(jī)能的過(guò)濾器即可輕易達(dá)到零水平，實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)因?yàn)樽鳂I(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的整機(jī)資料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，因此造成了元件清潔面的粒子沾染。
無(wú)塵室內(nèi)該如何避免微粒子沾染呢？應(yīng)依照下列四項(xiàng)基本準(zhǔn)則：

　　一、不攜入
在無(wú)塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：
1）作業(yè)員進(jìn)入無(wú)塵室前，機(jī)臺(tái)、整機(jī)攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理；
2）進(jìn)入無(wú)塵室者在更衣室要衣著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特別導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
3）通過(guò)風(fēng)淋室時(shí)利用高速清潔空氣除去附在衣服名義的粒子后，才干進(jìn)入無(wú)塵室。
4）機(jī)器及資料帶進(jìn)無(wú)塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀況下帶進(jìn)無(wú)塵室前室頤養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無(wú)塵室。
5）無(wú)塵室中須全程衣著密閉式保險(xiǎn)帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

　　二、不產(chǎn)生
在把持最大沾染源--人在無(wú)塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí)，也應(yīng)把持第二大沾染源—制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。因物品在挪動(dòng)時(shí)，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵，而物品在挪動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的產(chǎn)生。故為了把持發(fā)塵量達(dá)到最小限度應(yīng)采取以下對(duì)策：
1）減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作狀況；
2）采取磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；
3）采取發(fā)塵小的潤(rùn)滑油；
4）機(jī)臺(tái)利用空壓浮上的非接觸化工作原理。

　　三、不貯備
若能徹底履行“不攜入”技巧，無(wú)塵室內(nèi)的清潔度就可能堅(jiān)持。但事實(shí)中人跟物品的頻繁出入及制造機(jī)臺(tái)的掣動(dòng)，在寬大的無(wú)塵室內(nèi)要有完全清潔度是不可能的。因此“不貯備”技巧疾速地在過(guò)濾器中利用以除去已產(chǎn)生的微粒子變得十分重要。通常已產(chǎn)生的微粒子會(huì)依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體名義。突發(fā)性的振動(dòng)及不牢固的氣流會(huì)使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起，增加了重大微粒子沾染的危險(xiǎn)性。
在最高等級(jí)的無(wú)塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下賤動(dòng)。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣跟完全過(guò)濾空氣完全交換所盤(pán)算出來(lái)的數(shù)值。同時(shí)，空氣的流向也必須要有正確的把持才行。特別要保障氣流的流暢途徑暢通無(wú)阻，因?yàn)樵诹鲿惩緩街杏蟹恋K物的話，輕易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得鄰近已產(chǎn)生的微粒子無(wú)奈疾速消除而長(zhǎng)時(shí)光漂流在無(wú)塵室內(nèi)，而一局部會(huì)附著在周邊機(jī)器設(shè)備的名義而引起沾染。
把持氣流可避免微粒子累積，但對(duì)帶電名義的微粒累積就無(wú)奈避免。凈化配件送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。