電子凈化工程中對車間環(huán)境的特殊要求電子凈化工程中對車間環(huán)境的特殊要求
? ? ? ?電子凈化工程的建設是要為電子產(chǎn)品的生產(chǎn)提供可靠的環(huán)境條件，生產(chǎn)環(huán)境與電子產(chǎn)品生產(chǎn)有著
密切的關系，合適的生產(chǎn)環(huán)境，可以提高產(chǎn)品的性能、成品率及可靠性，否則會對產(chǎn)品生產(chǎn)造成較大
的影響。主要的環(huán)境要求有：
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（1） 空氣潔凈度要求
? ? ? 空氣潔凈度是表示空氣潔凈程度的指標，主要有兩個指標：空氣中塵埃微粒的濃度和空氣中塵埃微粒的粒徑?？諝獾臐崈舳仁请娮赢a(chǎn)品、尤其是微電子生產(chǎn)非常重要的條件之一，空氣潔凈度不達標，會直接對產(chǎn)品或工件造成污染，影響產(chǎn)品的性能、成品率、可靠性及壽命。空氣的潔凈度主要靠兩個
方面來保證，一方面建筑密閉性能、易潔性、保溫性能是潔凈廠房的基本條件，另一方面是在此基礎
上凈化空調等機電系統(tǒng)的共同作用保證空氣潔凈度達到規(guī)定的要求。一般而言，各類電子工程結合生
產(chǎn)要求和造價等多方面的因素，根據(jù)生產(chǎn)工藝流程設置不同面積和等級的凈化車間，隨著工藝要求的
嚴格程度，凈化等級由外到內逐級提高。
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（2） 空調恒溫恒濕要求
? ?恒溫恒濕包含了對溫、濕度基數(shù)與容許變化范圍的要求，室內溫度的高低及變化的大小，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)及運行有著很大的影響，室內溫度對電子產(chǎn)品及其生產(chǎn)的影響溫度條件影響溫度變化過大由于熱膨脹，使元器件、電路接點、精密設備儀器、機械構件的溫度系數(shù)改變，造成尺寸變化、位置偏移、
機構變形，影響產(chǎn)品的性能、成品率、可靠性及使用壽命溫度過高操作人員容易出汗，易造成污染；
影響操作人員的工作情緒，影響產(chǎn)品質量及生產(chǎn)效率；電子元器件容易損壞、性能惡化；電子計算機
等電子設備易發(fā)生誤動作；電機、變壓器繞阻溫度升高，超過允許限度即會燒毀；絕緣材料容易老化、
變形和脫裂，絕緣性能降低溫度過低因溫度系數(shù)改變，影響元器件的電氣性能和成品率；影響精密電
子設備及儀器的穩(wěn)定性，金屬和塑料絕緣會因為收縮系數(shù)改變產(chǎn)生接觸不良、密封開裂、焊點連接失
敗等問題空氣濕度對電子產(chǎn)品生產(chǎn)的影響，
主要有以下5個方面：
1） 影響電子設備及元器件產(chǎn)品的性能。濕度過大，電子元器件易引起漏泄通路、漏電、擊穿及材料老化等變化；工件(如硅片)表面沾附的塵粒難以去除：電氣絕緣材料容易受潮，降低絕緣性能。而濕度
過低，又易使塑料、絕緣材料等干燥收縮、變形、甚至龜裂。
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2） 濕度大，易在精密電子、機械設備(如電子計算機、大功率發(fā)射機、高頻感應電爐等)內部及工作表面產(chǎn)生凝結水(即結露)，影響設備內部元器件的性能及工作穩(wěn)定性，甚至引起泄露、斷路等問題。
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3） 當濕度超過一定的臨界值時，則將加速金屬的腐蝕。
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4） 濕度低，容易產(chǎn)生靜電。一般而言，空氣的相對濕度不宜低于40%。
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5） 濕度影響操作人員的工作情緒，影響產(chǎn)品質量和生產(chǎn)效率。
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因此，電子工廠特別是精密電子產(chǎn)品的生產(chǎn)工廠，均對室內溫度和濕度有不同程度的要求。為了保證達
到相應的恒溫恒濕標準，建筑物的維護結構和空調的自控功能效果都至關重要。
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（3） 防微振要求
? ? 振動對電子產(chǎn)品、特別是高精密產(chǎn)品的生產(chǎn)影響很大。即使每秒幾十微米的振動速度，也會對生產(chǎn)
造成很大的危害。振動對電子產(chǎn)品的影響，主要有以下幾個方面： 影響加工精度及測試精度，影響產(chǎn)
品成品率；影響設備儀器正常工作及使用壽命；影響設備儀器零部件(或元器件)的性能，甚至造成裂損
破壞；造成零件磨損或損壞，影響精度及使用壽命；易使設備儀器內部的零部件、元器件松動，影響
正常工作。生產(chǎn)環(huán)境中的振動，除廠房外部的振源(如交通車輛、機械設備、建筑施工等)以及內部振源
(如運輸車輛、機械設備、人員走動等)以外，廠房本身構件的機械性共振，也是不可忽視的振源。 因
此，電子工程必須充分預計各種可能產(chǎn)生的振源，并采取必要的防振措施。
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（4） 防靜電要求
? ? ? 靜電對電子產(chǎn)品生產(chǎn)的危害主要是：破壞電子元器件的生產(chǎn)，影響產(chǎn)品成品率，如MOS場效應管
和MOS集成電路，其絕緣氧化層厚度非常薄，只要遇到100V電位差，就會引起介質擊穿，導致器件損
壞；在微電子器件生產(chǎn)過程中，各種因素產(chǎn)生的靜電電壓，往往會超過電子器件對靜電的靈敏度范圍，
如果當室內相對濕度過低時，可能產(chǎn)生一定的靜電電壓，使得產(chǎn)品損壞率上升；造成電子設備故障，
損壞設備內部元器件；引起設備誤動作；由于靜電吸塵，影響設備通風散熱，造成機械零件磨損，
影響使用壽命；產(chǎn)生電擊現(xiàn)象，危及操作人員安全，甚至會引起燃燒及爆炸事故；干擾電子計算機等
設備的正常工作。
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? ? ? 所以在電子工業(yè)生產(chǎn)過程中，如集成電路制造等生產(chǎn)，對靜電防護有嚴格的要求，防靜電接地連接
必須安全可靠；有靜電防護的房間和設備，應注意所有設備可導電的金屬外殼、各類金屬管道、外露的
金屬構架等均應作等電位聯(lián)結，不應有對地絕緣的孤立導體；靜電接地的連接線應保證可靠連接，并宜
采用焊接或壓接。當采用導電膠與接地線粘接時，其按觸面積不宜小于20cm2；輸送超純氫氣、天然氣
等可燃介質的管道，必須采取防靜電接地措施，露天的放空管應該設置阻火器，并與周圍的建筑物和構
筑物綜合考慮防雷措施。
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（5） 電磁環(huán)境和電磁屏蔽要求
? ? 在電子產(chǎn)品生產(chǎn)中，電磁環(huán)境和電磁屏蔽技術是電子工業(yè)生產(chǎn)過程的重要手段和措施，同時也是影
響產(chǎn)品生產(chǎn)的一個重要環(huán)境因素，一個符合要求的電磁屏蔽環(huán)境需要多專業(yè)的密切配合，包含：屏蔽
殼體（壁板）的安裝（焊接），濾波器、截至波導通風窗的安裝等，都應嚴格按照電磁屏蔽室工程施
工及驗收規(guī)范的規(guī)定進行；電磁屏蔽室的濾波器（含電源濾波器和信號濾波器），其衰減參數(shù)應與電
磁屏蔽室的屏蔽性能一致。濾波器安裝前，必須將屏蔽室壁板與濾波器接觸面的油漆等影響導電性能
的物質清除干凈，并在接觸面放置導電襯墊，用螺栓緊密固定，保證有良好的電氣接觸；屏蔽室的濾
波器應在屏蔽殼體安裝完畢后和屏蔽室內裝修前進行安裝。進出屏蔽室的線纜一般均應經(jīng)過濾波器，
不宜通過濾波器的應接入信號傳輸接口板。信號傳輸接口板的安裝應按《電磁屏蔽室施工及驗收規(guī)定》
（SJ 31470）的規(guī)定執(zhí)行；濾波器安裝完畢后，應用電磁屏蔽檢漏儀進行百分之百的檢漏檢查。濾波
器的屏蔽效能檢測應由國家專門機構組織實施，測試方法和要求應符合《高效能電磁屏蔽室屏蔽效能
檢測方法》（GB 12190）的規(guī)定。檢測指標應滿足設計要求；電磁屏蔽室內的電氣配線、綜合布線
、監(jiān)控及安全防范系統(tǒng)、消防監(jiān)控系統(tǒng)等專業(yè)施工應在屏蔽殼體檢查合格后進行，施工安裝中嚴禁
破壞屏蔽層。
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