沾染等級個別分為100級、1000級、10000級、100000級，當初2010年版的GMP 沾染車間已經(jīng)不必這個叫法了，分為ABCD級別，分辨絕對應于98版的多少個級別，通過檢測區(qū)域內(nèi)的塵埃粒子數(shù)、浮游菌數(shù)、沉降均數(shù)評估沾染級別，各個級別有不同的請求，沾染等級分靜態(tài)、動態(tài)兩種。

　　(一)清潔室之等級
世界各國均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多，以下僅就209D及209E跟世界上其它各國制訂標準作介紹與彼此比較。凈化設備能夠吸附、分解或轉(zhuǎn)化各種空氣污染源、空氣污染物【室內(nèi)生物性污染。主要包括細菌、真菌、霉菌、病毒、塵螨、花粉、寵物皮屑、生物體有機成分等），有效提高空氣清潔度的產(chǎn)品，目前以清除室內(nèi)空氣污染的家用和工業(yè)凈化設備為主。
209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，清潔室等級以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3….依此類推，配合國際公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數(shù)量字是以每破方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)量字以10的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。 清潔網(wǎng)z:Wg1pj
美國聯(lián)邦標準FS 209D都以英制每破方英呎為單位，日本則是采取公制，即以每破方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數(shù)標準。日本標準之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 8，以每破方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。

　　(二)清潔室之定義
清潔室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清潔室。　「清潔室」是指將一定空間范疇內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之沾染物消除，并將室內(nèi)之溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流散布、噪音振動及照明、靜電把持在某一須要范疇內(nèi)，而所給予特別設計之房間。亦即是不管外在之空氣前提如何變更，其室內(nèi)均能俱有堅持原來所設定請求之清潔度、溫濕度及壓力等機能之特點。
清潔室最重要之作用在于把持產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的清潔度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間咱們稱之為「清潔室」。
　　(三)清潔室控管之名目

　　1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

　　2. 能避免微塵粒子之產(chǎn)生。

　　3. 溫度跟濕度之把持。

　　4. 壓力之調(diào)節(jié)。

　　5. 有害氣體之消除。凈化等級塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù),500，≥5μm塵粒數(shù)0，微生物最大允許數(shù)浮游菌/立方米5，沉降菌/皿1。

　　6. 結構物與隔間之氣密性。

　　7. 靜電之防制。

　　8. 電磁煩擾防備。

　　9. 保險因素之考慮。

　　10. 節(jié)能之考量。
　　(四)清潔室之分類1.亂流式(Turbulent Flow)
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與清潔室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入清潔室，并由清潔室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型活動而呈不規(guī)矩之亂流或渦流狀況。此型式實用于清潔室等級1,000-100,000級。
優(yōu)點結構簡單、體系建造本錢，清潔室之裁減比較輕易，在某些特別用處場合，可并用無塵工作臺，進步清潔室等級。
毛病亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易沾染制程產(chǎn)品。另外若體系結束運行再激活，欲達須要之清潔度，往往須耗時相稱長一段時光。 2.層流式(Laminar)
層流式空氣氣流活動成一均勻之直線形，空氣由籠罩率100%之過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式實用于清潔室等級需定較高之環(huán)境利用，個別其清潔室等級為Class 1~100。其型式可分為二種

　　(1)水平層流式水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風體系回風，塵埃隨風向排出室外，個別在下賤側沾染較重大。
優(yōu)點結構簡單，運行后短時光內(nèi)即可變成牢固。
毛病建造用度比亂流式高，室內(nèi)空間不易裁減。

　　(2)垂直層流式房間天花板完全以ULPA過濾器籠罩，空氣由上往下吹，可得較高之清潔度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？杉菜倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。
優(yōu)點治理輕易，運行開端短時光內(nèi)即可達牢固狀況，不易為作業(yè)狀況或作業(yè)人員所影響。
毛病結構用度較高，彈性應用空間艱苦，天花板之吊架相稱占空間，維修調(diào)換過濾器較麻煩。 3.復合式(Mixed Type)
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可供給局部超清潔之空氣。

　　(1)清潔隧道(Clean Tunnel)以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%籠罩使清潔度等級進步至10級以上，可節(jié)儉裝置運行用度。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品跟機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品德，ULSI制程大都采取此種型式。
清潔隧道另有二項優(yōu)點A.彈性裁減輕易； B.維修設備時可在維修區(qū)輕易履行。

　　(2)清潔管道(Clean Tube)將產(chǎn)品流程經(jīng)過的主動生產(chǎn)線包抄并沾染處理，將清潔度等級提至100級以上。凈化設備能夠吸附、分解或轉(zhuǎn)化各種空氣污染源、空氣污染物【室內(nèi)生物性污染。主要包括細菌、真菌、霉菌、病毒、塵螨、花粉、寵物皮屑、生物體有機成分等），有效提高空氣清潔度的產(chǎn)品，目前以清除室內(nèi)空氣污染的家用和工業(yè)凈化設備為主。因產(chǎn)品跟作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境彼此隔離，少量之送風即可得到良好之清潔度，可節(jié)儉能源，不需人工的主動化生產(chǎn)線為最適合利用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均實用。

　　(3)并裝局部清潔室(Clean Spot)將清潔室等級10,000~100,000之亂流清潔室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的清潔度等級進步為10~1000級以上，認為生產(chǎn)之用；清潔工作臺、清潔工作棚、清潔風柜即屬此類。
清潔工作臺等級Class 1~100級。
清潔工作棚為在亂流式之清潔室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采取獨破之HEPA或ULPA及空調(diào)送風機組而成為一較高等之清潔空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，籠罩面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性應用。