沾染等級個(gè)別分為100級、1000級、10000級、100000級，當(dāng)初2010年版的GMP 沾染車間已經(jīng)不必這個(gè)叫法了，分為ABCD級別，分辨絕對應(yīng)于98版的多少個(gè)級別，通過檢測區(qū)域內(nèi)的塵埃粒子數(shù)、浮游菌數(shù)、沉降均數(shù)評估沾染級別，各個(gè)級別有不同的請求，沾染等級分靜態(tài)、動態(tài)兩種。

　　(一)清潔室之等級
世界各國均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多，以下僅就209D及209E跟世界上其它各國制訂標(biāo)準(zhǔn)作介紹與彼此比較。凈化設(shè)備能夠吸附、分解或轉(zhuǎn)化各種空氣污染源、空氣污染物【室內(nèi)生物性污染。主要包括細(xì)菌、真菌、霉菌、病毒、塵螨、花粉、寵物皮屑、生物體有機(jī)成分等），有效提高空氣清潔度的產(chǎn)品，目前以清除室內(nèi)空氣污染的家用和工業(yè)凈化設(shè)備為主。
209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，清潔室等級以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3….依此類推，配合國際公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化，M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)量字是以每破方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)量字以10的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。 清潔網(wǎng)z:Wg1pj
美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D都以英制每破方英呎為單位，日本則是采取公制，即以每破方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 8，以每破方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。

　　(二)清潔室之定義
清潔室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清潔室?！　盖鍧嵤摇故侵笇⒁欢臻g范疇內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之沾染物消除，并將室內(nèi)之溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流散布、噪音振動及照明、靜電把持在某一須要范疇內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不管外在之空氣前提如何變更，其室內(nèi)均能俱有堅(jiān)持原來所設(shè)定請求之清潔度、溫濕度及壓力等機(jī)能之特點(diǎn)。
清潔室最重要之作用在于把持產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的清潔度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間咱們稱之為「清潔室」。
　　(三)清潔室控管之名目

　　1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

　　2. 能避免微塵粒子之產(chǎn)生。

　　3. 溫度跟濕度之把持。

　　4. 壓力之調(diào)節(jié)。

　　5. 有害氣體之消除。凈化等級塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù),500，≥5μm塵粒數(shù)0，微生物最大允許數(shù)浮游菌/立方米5，沉降菌/皿1。

　　6. 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。

　　7. 靜電之防制。

　　8. 電磁煩擾防備。

　　9. 保險(xiǎn)因素之考慮。

　　10. 節(jié)能之考量。
　　(四)清潔室之分類1.亂流式(Turbulent Flow)
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與清潔室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入清潔室，并由清潔室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型活動而呈不規(guī)矩之亂流或渦流狀況。此型式實(shí)用于清潔室等級1,000-100,000級。
優(yōu)點(diǎn)結(jié)構(gòu)簡單、體系建造本錢，清潔室之裁減比較輕易，在某些特別用處場合，可并用無塵工作臺，進(jìn)步清潔室等級。
毛病亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易沾染制程產(chǎn)品。另外若體系結(jié)束運(yùn)行再激活，欲達(dá)須要之清潔度，往往須耗時(shí)相稱長一段時(shí)光。 2.層流式(Laminar)
層流式空氣氣流活動成一均勻之直線形，空氣由籠罩率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式實(shí)用于清潔室等級需定較高之環(huán)境利用，個(gè)別其清潔室等級為Class 1~100。其型式可分為二種

　　(1)水平層流式水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)體系回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，個(gè)別在下賤側(cè)沾染較重大。
優(yōu)點(diǎn)結(jié)構(gòu)簡單，運(yùn)行后短時(shí)光內(nèi)即可變成牢固。
毛病建造用度比亂流式高，室內(nèi)空間不易裁減。

　　(2)垂直層流式房間天花板完全以ULPA過濾器籠罩，空氣由上往下吹，可得較高之清潔度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？杉菜倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。
優(yōu)點(diǎn)治理輕易，運(yùn)行開端短時(shí)光內(nèi)即可達(dá)牢固狀況，不易為作業(yè)狀況或作業(yè)人員所影響。
毛病結(jié)構(gòu)用度較高，彈性應(yīng)用空間艱苦，天花板之吊架相稱占空間，維修調(diào)換過濾器較麻煩。 3.復(fù)合式(Mixed Type)
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可供給局部超清潔之空氣。

　　(1)清潔隧道(Clean Tunnel)以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%籠罩使清潔度等級進(jìn)步至10級以上，可節(jié)儉裝置運(yùn)行用度。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品跟機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品德，ULSI制程大都采取此種型式。
清潔隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)A.彈性裁減輕易； B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易履行。

　　(2)清潔管道(Clean Tube)將產(chǎn)品流程經(jīng)過的主動生產(chǎn)線包抄并沾染處理，將清潔度等級提至100級以上。凈化設(shè)備能夠吸附、分解或轉(zhuǎn)化各種空氣污染源、空氣污染物【室內(nèi)生物性污染。主要包括細(xì)菌、真菌、霉菌、病毒、塵螨、花粉、寵物皮屑、生物體有機(jī)成分等），有效提高空氣清潔度的產(chǎn)品，目前以清除室內(nèi)空氣污染的家用和工業(yè)凈化設(shè)備為主。因產(chǎn)品跟作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境彼此隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之清潔度，可節(jié)儉能源，不需人工的主動化生產(chǎn)線為最適合利用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均實(shí)用。

　　(3)并裝局部清潔室(Clean Spot)將清潔室等級10,000~100,000之亂流清潔室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的清潔度等級進(jìn)步為10~1000級以上，認(rèn)為生產(chǎn)之用；清潔工作臺、清潔工作棚、清潔風(fēng)柜即屬此類。
清潔工作臺等級Class 1~100級。
清潔工作棚為在亂流式之清潔室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采取獨(dú)破之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高等之清潔空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，籠罩面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性應(yīng)用。