沾染工程具體工藝對溫度的請求，因為加工精度越來越精巧，所以對溫度穩(wěn)定范疇的請求越來越小；請求濕度值個別較低，因為人出汗當前，對產(chǎn)品將有沾染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。凈化設備能夠吸附、分解或轉化各種空氣污染源、空氣污染物【室內(nèi)生物性污染。主要包括細菌、真菌、霉菌、病毒、塵螨、花粉、寵物皮屑、生物體有機成分等），有效提高空氣清潔度的產(chǎn)品，目前以清除室內(nèi)空氣污染的家用和工業(yè)凈化設備為主。凈化工程一個應用行業(yè)非常廣泛的基礎性配套產(chǎn)業(yè)，目前在電子信息、半導體、光電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應用，并根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求，等級差別也較大。

濕度過高產(chǎn)生的問題更多。凈化等級塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù),500，≥5μm塵粒數(shù)0，微生物最大允許數(shù)浮游菌/立方米5，沉降菌/皿1。絕對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，假如產(chǎn)生在精巧裝置或電路中，就會引起各種事變。絕對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片名義粘著的灰塵化學吸附在名義耐難以清除。絕對濕度越高,粘附的難去掉，但當絕對濕度低于30%時，又因為靜電力的作用使粒子也輕易吸附于名義，同時大量半導體器件輕易產(chǎn)生擊穿。對硅片生產(chǎn)最佳溫度范疇為35—45%。
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