沾染工程具體工藝對(duì)溫度的請(qǐng)求，因?yàn)榧庸ぞ仍絹?lái)越精巧，所以對(duì)溫度穩(wěn)定范疇的請(qǐng)求越來(lái)越?。徽?qǐng)求濕度值個(gè)別較低，因?yàn)槿顺龊巩?dāng)前，對(duì)產(chǎn)品將有沾染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。凈化設(shè)備能夠吸附、分解或轉(zhuǎn)化各種空氣污染源、空氣污染物【室內(nèi)生物性污染。主要包括細(xì)菌、真菌、霉菌、病毒、塵螨、花粉、寵物皮屑、生物體有機(jī)成分等），有效提高空氣清潔度的產(chǎn)品，目前以清除室內(nèi)空氣污染的家用和工業(yè)凈化設(shè)備為主。凈化工程一個(gè)應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè)，目前在電子信息、半導(dǎo)體、光電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車(chē)噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用，并根據(jù)行業(yè)的精密與無(wú)塵要求，等級(jí)差別也較大。

濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。凈化等級(jí)塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù),500，≥5μm塵粒數(shù)0，微生物最大允許數(shù)浮游菌/立方米5，沉降菌/皿1。絕對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，假如產(chǎn)生在精巧裝置或電路中，就會(huì)引起各種事變。絕對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片名義粘著的灰塵化學(xué)吸附在名義耐難以清除。絕對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)絕對(duì)濕度低于30%時(shí)，又因?yàn)殪o電力的作用使粒子也輕易吸附于名義，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件輕易產(chǎn)生擊穿。對(duì)硅片生產(chǎn)最佳溫度范疇為35—45%。
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